034 薄膜技術の基礎〜基礎知識から，装置例，実際の適用例，薄膜の評価方法，トラブル対応まで〜【WEB受講（オンデマンドセミナー）】※10日間何度でも視聴可

１.成膜技術ための基礎知識

(1)　真空工学

(2)　表面物性工学

(3)　プラズマ工学

２.物理気相成長（PVD）法

(1) 真空蒸着法
a.　原理
b.　真空蒸着法の種類
c.　真空蒸着法の留意事項

(2) スパッタ法
a.　原理　
b.　スパッタ法の種類
c.　スパッタ法で作製される薄膜の特長
d.　スパッタ法の留意事項

３.化学気相成長（CVD）法

(1)　原理

(2)　化学気相成長法の種類

(3)　化学気相成長法による薄膜形成例

(4)　化学気相成長法の留意事項

４.薄膜評価法

(1)　形態観察

(2)　膜組成、膜構造分析

(3)　付着力、膜応力測定

(4)　電気的特性、光学的特性測定

５.成膜プロセスで遭遇する　　　　さまざまなトラブル

(1)　膜質に関するトラブル

(2)　装置に関するトラブル

まとめ

まとめ

質疑・応答